氣體激光器與液體激光器、固體激光器和半導(dǎo)體激光器一樣,已經(jīng)實現(xiàn)了實用化。它已廣泛用于工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究、國家建設(shè)和醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。氣體激光器的重要特點之一,激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。
由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在,將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行干燥處理,防止污染混合氣。
如果將氦氖激光作為第1代氣體激光,二氧化碳激光是第2代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF)激光,可稱為第3代激光。下圖列出常見的氦氖激光混合氣、二氧化碳混合氣、氪氟激光混合氣、密封束混合氣和準分子激光混合氣的組成和具體用途。